[发明专利]图案化石墨烯的制备方法及生物传感器的制造方法在审
| 申请号： | 202110638584.5 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113526498A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘俊江;王焕明;许智 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;G01N27/327 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 董洪荣 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯制备技术领域，具体而言，涉及一种图案化石墨烯的制备方法、生物传感器的制造方法。图案化石墨烯的制备方法包括以下步骤：将光刻胶涂布于铜箔上长有石墨烯的一侧，固化成型后完成光刻胶的图案化，按照图案化的光刻胶对石墨烯进行刻蚀，以完成石墨烯的图案化，将柔性薄膜作为支撑层贴于光刻胶表面，并将样品置于刻蚀液中以刻蚀并除去铜箔，将除去铜箔后的样品以石墨烯侧贴于基底上，并除去柔性薄膜和光刻胶层。利用该方法转移得到的石墨烯无褶皱及破损。本发明还提供了一种生物传感器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 化石 制备 方法 生物 传感器 制造 | ||
【主权项】：
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