[发明专利]一种采用外部阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法有效
| 申请号： | 202110637053.4 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113391397B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用外部阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法。包括：离子交换处理在玻璃基片正面制作表面离子掺杂区、在玻璃基片背面对应的非光波导区域形成高电阻率的外部阻挡层、以及电场辅助离子迁移处理将表面离子掺杂区制作成掩埋式离子掺杂区；其中，在进行所述电场辅助迁移处理过程中，玻璃基片背面高电阻率的外部阻挡层使离子掺杂区附近的电场分布呈现横向汇聚的特征，抑制了玻璃基片中离子掺杂区在电场辅助离子迁移过程中的横向展宽趋势，提高了玻璃基片中作为光波导芯部的掩埋式离子掺杂区的对称性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 外部 阻挡 提高 玻璃 波导 对称性 方法 | ||
【主权项】：
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