[发明专利]基于回音壁模式的电注入等离激元激光器阵列及制备方法有效
| 申请号： | 202110629473.8 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113437191B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 黄凯;王丽兰;李金钗;高娜;江莹;康俊勇 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H01L33/24 | 分类号： | H01L33/24;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/00;H01S5/18 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于回音壁模式的电注入等离激元激光器阵列及其制备方法，该激光器阵列包括LED外延结构、n电极和p电极，LED外延结构包括按序设置的n型氮化镓层、量子阱、p型铝镓氮层和p型氮化镓层，p电极和n电极分别与p型氮化镓层和n型氮化镓层电性连接；LED外延结构具有于厚度方向上由p型氮化镓层深入至至少贯穿量子阱的纳米孔的阵列，纳米孔内填充有环形的电介质层和位于电介质层之内的金属柱。本发明利用LED的电注入方式实现激光器的电注入，利用金属与量子阱中的激子发生近场耦合所形成的等离极化激元，在介电层内形成回音壁式等离激元共振模式，打破常规光学器件的衍射极限，并大幅降低激光器的激射阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 回音壁 模式 注入 离激元 激光器 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
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