[发明专利]一种N面出光AlGaInPLED薄膜芯片及制备方法在审

专利信息
申请号: 202110616418.5 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN113066913A 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 王苏杰;林晓珊;宁如光;杨祺;熊欢;陈振宇;吴礼清;潘彬;王向武;张银桥 申请(专利权)人: 南昌凯迅光电有限公司
主分类号: H01L33/22 分类号: H01L33/22;H01L33/36;H01L33/00
代理公司: 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 代理人: 李楠
地址: 330000 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了N面出光AlGaInPLED薄膜芯片,所述芯片自下而上依次包括:基板、键合金属层、金属反射电极、介质层、P型欧姆接触层、发光层、N型电流扩展层、N型粗化层、N电极,所述N电极与N型粗化层直接形成欧姆接触。本发明还公开了LED薄膜芯片的制备方法。本发明直接在N型粗化层上制备欧姆接触,有效简化了N面出光AlGaInPLED薄膜芯片制备工艺,降低生产成本的同时解决了业界普遍采用n+‑GaAs作为欧姆接触层产生的吸光问题。
搜索关键词: 一种 面出光 algainpled 薄膜 芯片 制备 方法
【主权项】:
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