[发明专利]变形装置、曝光装置和制造物品的方法有效
| 申请号： | 202110608582.1 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113759493B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 明贺新 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/185 | 分类号： | G02B7/185;G03B21/14;G03B21/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱巧博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了变形装置、曝光装置和制造物品的方法。变形装置使构件的表面变形，变形装置包括：多个致动器，每个致动器构造成向所述构件施加力以使所述表面变形；测量设备，其构造成测量在所述多个致动器中的第一致动器中产生的感应电动势；以及控制器，其构造成控制所述多个致动器，其中，控制器在使用所述多个致动器中的与第一致动器不同的第二致动器振动所述构件的同时使测量设备测量第一致动器中的感应电动势的经时变化、将测量的感应电动势的经时变化转换为频谱、并且根据所述频谱检测第一致动器中的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 装置 曝光 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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