[发明专利]一种光刻设备的环境监测系统在审
| 申请号： | 202110604019.7 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113252109A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 侯克邦 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种光刻设备的环境监测系统，包括主控模块、以及连接主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示；本发明通过对光刻设备所处环境的数据采集，便于通过数据的综合判断对产品良率进行预测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 设备 环境监测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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