[发明专利]一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110603105.6 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113463042A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张灵杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/17;B22F3/24;C21D1/26;C21D9/00;C22C27/04;C22F1/18 |
| 代理公司： | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 41190 | 代理人： | 王学鹏 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法，包括将单组份的钼粉与钛粉形成的二元合金粉末或者钼粉、钛粉以及镍粉形成的三元合金粉末过筛处理的步骤、冷等静压步骤、真空烧结步骤、锻造加工步骤、退火处理步骤、机加工步骤、洁净处理步骤，制得钼钛合金溅射镀膜靶材；本发明通过冷等静压、真空烧结及锻造加工步骤，实现致密度高、耐腐蚀性能好且导电性能好的高性能钼钛合金的制备，制得实际密度趋近或者等于合金的理论密度，且平均晶粒尺寸≤50um的钼钛合金。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 溅射 镀膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳科威钨钼有限公司，未经洛阳科威钨钼有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110603105.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
