[发明专利]一种高纯α相氮化硅粉末的制备方法及制备设备有效
| 申请号： | 202110599144.3 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113200528B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王开新;赵世维;周正;周志中 | 申请（专利权）人： | 合肥中航纳米技术发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人： | 汪守勇 |
| 地址： | 231139 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种高纯α相氮化硅粉末的制备方法及制备设备，涉及高熔点氮化物粉体制备技术领域。高纯硅粉物料和催化剂自进料斗进入进料仓中，通入高纯氮气，通过进料仓中气旋处理，使粉体物料以均匀气流粉体形态进入等离子体反应器中；启动等离子弧发生器，形成等离子电弧焰流，在催化剂的催化作用下，高纯硅粉物料粉体气流经过等离子电弧焰流快速反应，从而获得非晶态的氮化硅粉体；最后经过管式炉进行煅烧获得高纯α相氮化硅。本发明将经过等离子体气相反应生成的非晶态氮化硅直接进行煅烧，从而获得高纯α相氮化硅。其α相含量为90％左右，β相含量约为10％左右，且制备产物的形貌规则，颗粒均匀度较好，粒径分布均匀，纯度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 氮化 粉末 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
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