[发明专利]一种双绝缘层日盲紫外光敏薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种双绝缘层日盲紫外光敏薄膜晶体管的制备方法，包括：步骤一、对衬底进行预处理后，通过光刻剥离技术在衬底上曝光显影出栅极区域，并在栅极区域蒸镀导电膜，得到第一基底；步骤二、在第一基底上通过光刻剥离技术显影出第一堆叠区域，在第一堆叠区域沉积Ta2O5薄膜，得到第二基底；其中，第一堆叠区域栅极区域部分重叠；步骤三、在第二基底的Ta2O5薄膜上沉积MgO薄膜，得到第三基底；步骤四、在第三基底的MgO薄膜上沉积Mg0.5Zn0.5O薄膜，得到第四基底；步骤五、在第四基底上通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠区域，在第二堆叠层区域沉积叉指电极层，得到晶体管；其中，第二堆叠区域位于Mg0.5Zn0.5O薄膜上方，并且第二堆叠区域的边缘与Mg0.5Zn0.5O薄膜的边缘完全重合。