[发明专利]一种基于MEMS技术的硅基SIW毫米波大功率功分器在审
| 申请号： | 202110590571.5 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113540736A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 朱啸宇;王晔;曹雪松;蔡传涛 | 申请（专利权）人： | 中电国基南方集团有限公司 |
| 主分类号： | H01P5/16 | 分类号： | H01P5/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 姜慧勤 |
| 地址： | 211153 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的硅基SIW毫米波大功率功分器，包括硅基板，设置于硅基板内的TSV过孔，由TSV过孔构成的SIW结构，设置于SIW内部的TSV过孔，设置于SIW结构与共面波导间的过渡微带，设置于金层上表面的开槽，设置于开槽上的氮化钽电阻，设置于输入输出端口的共面波导，还包括感性金属柱。本发明所公开的基于MEMS技术的硅基SIW毫米波大功率功分器具有体积小、加工精度高、易于集成、功率容量大、集成度高、设计自由度高、隔离度高、传输损耗低、回波损耗小等特点，可广泛应用在毫米波频段的大功率合成中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 siw 毫米波 大功率 功分器 | ||
【主权项】：
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