[发明专利]一种IBC太阳能电池扩散和清洗方法有效
| 申请号： | 202110579706.8 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113363350B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李懋鸿;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/02;H01L31/068 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李素兰;何键云 |
| 地址： | 322009 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种IBC太阳能电池的扩散和清洗方法，包括：S1、将制绒后的硅片置入扩散设备，在硅片的背表面形成n+扩散层和PSG掩膜层；S2、对硅片的背表面进行激光消融；S3、采用碱性清洗液来清洗激光消融后的硅片，形成沿着硅片背表面凹陷的p区；S4、采用酸性清洗液来清洗硅片，去除PSG掩膜层。本发明的n+扩散层和PSG掩膜层采用同一台设备形成，有效降低设备成本，同时减少更换设备的生产时间，在降低生产成本的同时提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ibc 太阳能电池 扩散 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
