[发明专利]真空计校准装置及校准方法有效
| 申请号： | 202110578312.0 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113310626B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;柏向春;闫睿;董云宁;田虎林;魏萌萌;杨振 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 延慧;武丽荣 |
| 地址： | 100086 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空计 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
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