[发明专利]真空计校准装置及校准方法

说明书

本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。

技术领域

本发明属于测量技术领域，涉及一种真空计校准装置及校准方法。

背景技术

真空计量检测是保证产品质量、工程质量和重要任务可靠性的手段，因此，真空计在使用时的校准是必不可少的。目前，对于真空计的校准，通常是将真空计送往实验室校准，此方式校准周期长并且许多试验设备上的真空计存在不便拆卸的问题，难以进行校准操作，尤其是对于集成化在设备上的真空计基本不可能实现送往实验室进行校准。另一方面，现有的真空计校准方法能够校准的量程有限，不同精度的真空计的校准，校准精度无法有效保证。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种真空计校准装置及校准方法，解决真空计校准精度低的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种真空计校准装置，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀门和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。

根据本发明的一个方面，所述流量计的气体流量范围为10^-5～10^-10Pam³/s，并且测量合成标准不确定度小于3％。

根据本发明的一个方面，校准室设置为具有空腔的圆球结构，所述圆球结构顶端和底端分别设有连接法兰，所述圆球结构顶端的连接法兰与所述第一真空阀门相连接，所述限流孔设置在所述圆球结构底端的连接法兰上与所述第三真空阀门相连接。

根据本发明的一个方面，所述限流孔的直径为110mm，孔径壁厚小于0.2mm。

根据本发明的一个方面，所述赤道平面为通过所述校准室球心并且与所述校准室的顶端法兰与底端法兰平面的连接线相垂直的截面；

相邻所述赤道平面上的法兰接口与所述校准室球心连接线的夹角为60°。

根据本发明的一个方面，所述分子泵抽气机组的抽速大于50L/s。

根据本发明的一个方面，所述分子泵抽气机组包括相互连接的第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵的另一端与所述第四真空阀门连接，所述第二分子泵的另一端与所述第三真空阀门连接。

根据本发明的一个方面，所述第一真空计的测量量程为10^-1～10^-8Pa，测量的合成标准不确定度小于5％，所述第三真空计和第四真空计的测量量程分别为10⁵～10²Pa和10²～10^-1Pa，所述第三真空计和第四真空计的测量合成标准不确定度小于1％。

本发明还提供一种利用上述真空计校准装置的真空计校准方法，包括：

包括：

S1、将待校准真空计安装在所述校准室的校准接口上，连接后进行检漏；