[发明专利]一种晶圆片位错图像采集装置及其采集方法

摘要

本发明公开了一种晶圆片位错图像采集装置及其采集方法，采集装置包括机台、支撑件、控制终端、图像显示器、位于支撑件上方并能相对支撑件上的晶圆片平行相对运动的距离采集单元、位于支撑件上方并能相对支撑件上的晶圆片平行相对运动且能相对支撑件上的晶圆片垂直相对运动的图像采集单元，距离采集单元、图像采集单元、图像显示器均与控制终端电性连接。通过该采集装置实现晶圆盘上单点及多点、全片的全自动位错图像采集，无需人工参与，避免晶圆片在采集过程中损害，提高晶圆片位错图像的采集效率及晶圆片的检测效率。