[发明专利]一种晶圆片位错图像采集装置及其采集方法

权利要求书

1.一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：包括机台、设在机台上的用于稳定置放晶圆片的支撑件、带处理器的控制终端、图像显示器、位于支撑件上方并能相对支撑件上的晶圆片平行相对运动的距离采集单元、位于支撑件上方并能相对支撑件上的晶圆片平行相对运动且能相对支撑件上的晶圆片垂直相对运动的图像采集单元，该距离采集单元、图像采集单元、图像显示器均与该控制终端电性连接，通过该图像采集单元获取支撑件上晶圆片的图像信息并反馈给控制终端，通过距离采集单元获取该距离采集单元到支撑件上晶圆片的距离信息并反馈给控制终端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该机台台面上设有一运动平台，该支撑件固设在该运动平台上，通过运动平台带动该支撑件及支撑件上的晶圆片在二维平面上运动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该运动平台与该控制终端电性连接并受控制终端控制运动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该图像采集单元与一垂直运动机构连接并受该垂直驱动机构驱动以相对该支撑件上的晶圆片垂直运动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该距离采集单元和图像采集单元均固设在一垂直运动机构上并受该垂直驱动机构驱动以相对该支撑件上的晶圆片垂直运动。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该图像采集单元为一摄像镜头。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置，其特征在于：该距离采集单元为光电测距传感仪。

8.如权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置的采集方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1，将图像采集单元调整到能对晶圆片一位置处的位错进行清晰成像时的高度位置，记录距离采集单元到晶圆片该位置处之间的垂直距离一；并保持距离采集单元与图像采集单元在垂直晶圆片的垂直方向上无相对运动；

步骤2，使距离采集单元相对晶圆片平行移动到晶圆片待获取位错图像的指定位置的正上方并获取该距离采集单元到该指定位置的垂直距离二；

步骤3，使图像采集单元相对晶圆片平行移动到晶圆片的指定位置上方；根据步骤2获得的垂直距离二与步骤一已知的垂直距离一的差值，图像采集单元相对晶圆片做垂直运动且运动幅度为该差值，使图像采集单元到达能获取清晰成像的高度位置，以获取清晰的位错图像。

9.如权利要求1所述的一种晶圆片位错图像采集装置的采集方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1，将图像采集单元调整到能对晶圆片一位置处的位错进行清晰成像时的高度位置，记录距离采集单元到晶圆片该位置处之间的垂直距离一；并保持距离采集单元与图像采集单元在垂直晶圆片的垂直方向上无相对运动；

步骤2，使距离采集单元按照设定的轨迹相对晶圆片平行移动到晶圆片待获取位错图像的多个指定位置的正上方，依次获取该距离采集单元到该些指定位置的垂直距离二并记录保存；

步骤3，使图像采集单元按照步骤2设定的轨迹相对晶圆片平行移动到晶圆片的多个指定位置上方；根据步骤2获得的各指定位置对应的垂直距离二与步骤一已知的垂直距离一的差值，图像采集单元在每个指定位置处相对晶圆片做垂直运动且运动幅度为该差值，使图像采集单元到达能获取清晰成像的高度位置，以获取清晰的位错图像。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆片位错图像采集装置的采集方法，其特征在于：所述步骤2和步骤3中，通过控制终端控制图像采集单元和距离采集单元按照设定轨迹相对晶圆片平行移动到各指定位置，通过控制终端控制图像采集单元相对晶圆片垂直运动。