[发明专利]一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法有效
| 申请号： | 202110569601.4 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113237841B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 邵振;刘璐 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N1/38 |
| 代理公司： | 上海新泊利知识产权代理事务所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 212212 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，包含如下步骤：S1：配制标准原液及对标准原液稀释不同倍数后得到的原液稀释液；S2：利用紫外分光光度法对标准原液及对标准原液稀释不同倍数后的原液稀释液进行过氧化氢含量的检测，得到标准工作曲线；S3：将待测蚀刻液与酸化试剂按体积比为1：0.5~1.5的比例混合，搅拌均匀，得到混合液；S4：将混合液依次用水、标准原液稀释，得到待测稀释液；S5：利用紫外分光光度法对步骤S4配制得到的待测稀释液进行过氧化氢含量的检测，再根据标准工作曲线换算出待测蚀刻液中过氧化氢的含量。具有操作简单，检测时间短，测量精度高，废液量少等优点故发明本检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 过氧化氢 含量 检测 方法 | ||
【主权项】：
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