[发明专利]一种电子束曝光机用电子束静电偏转器控制系统及方法有效
| 申请号： | 202110566122.7 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113296372B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 朱瑞;徐军;刘亚琪;张振生;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束曝光机用电子束静电偏转器控制系统及方法。本发明采用主控制器、静电偏转信号控制器和静电偏转信号发生器，实现了静电偏转器的系统控制，采用层级控制关系，通过层级的控制信号传递控制参数，系统采用统一的通讯协议和接口，用户可仅掌握顶层控制命令即可实现系统操控；静电偏转信号发生器中信号的线性放大增益可调，使得系统功能设计和性能调整具有很大的自由度；此外，系统在控制参数作用下，将原始的扫描信号实时转化生成为静电偏转器各个偏转电极上施加所需的高压偏转信号，保证了扫描信号生成速度，实现了各个偏转电极上高压偏转信号的系统控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 曝光 用电 静电 偏转 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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