[发明专利]一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法有效
| 申请号： | 202110565052.3 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113290005B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 顾辉;黄调调;李祥;李健 | 申请（专利权）人： | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B11/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 饶富春 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法，属于硅片清洗领域；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备包括倾斜机构、箱体、往复驱动机构、打散机构以及清洗机构；通过设置倾斜机构来使箱体倾斜，箱体内液体能够集中流向收纳箱，并完成过滤和循环使用；通过往复驱动机构来控制硅片在碱抛和清洗两个工位来回运动，使得硅片每次完成碱抛后都能完成清洗，避免硅片表面上的杂质堆积没影响碱抛效果；通过设置打散机构，来实现硅片冲洗之前对其表面上的絮状胶体进行打散，便于清洗机构将絮状胶体的冲洗掉；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备的使用方法包括夹持调整、倾角调整、冲洗角度调整以及碱抛清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 循环 过滤 功能 清洗 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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