[发明专利]宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 202110551510.8 | 申请日: | 2021-05-20 |
公开(公告)号: | CN113686466B | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 余辉洋;李义丰;李传亮;王震涛;陈昊东;刘雪洋 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明;赵吉阳 |
地址: | 211899 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于介电应变效应的宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法,传感器按照从上至下顺序依次设置有传感器上电极、复合介质层和传感器下电极,在上下电极之上附着一层保护层,所述复合介质层由柔性基底材料掺杂纳米铁磁性材料组成,同时用磁铁对纳米铁磁性粒子的分布进行控制,使其在柔性基底内规则排布,因此,在压力的作用下,敏感层产生形变,纳米粒子的电偶极矩足够近并且趋于同向就可以在电偶极子之间产生较强的耦合作用,使传感器的电介质获得较高的介电系数,以此来提高传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 量程 柔性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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