[发明专利]双面电极结构MEMS微镜的制备方法在审
| 申请号： | 202110547196.6 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN115373131A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李伟;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法。包括步骤：提供第一基底，于第一基底中形成电极引线槽；于第一器件层中形成绝缘槽、多个下梳齿及运动空间槽以得到键合结构层；提供第二基底，将第二基底与键合结构层键合以得到键合片，第二器件层的表面和第一器件层的表面为键合面；于第二器件层中形成框架、上梳齿、可动微光反射镜及弹性梁，可动微光反射镜位于框架内侧，弹性梁与框架和/或可动微光反射镜相连接；形成金属反射层、第一上梳齿电极、第一下梳齿电极、第二上梳齿电极及第二下梳齿电极。采用本发明，电极引线槽的尺寸及位置等可根据设计需要灵活选择，可以极大提高器件灵活度，可以使得MEMS微镜应用范围更广。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 电极 结构 mems 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽中科米微电子技术有限公司，未经安徽中科米微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110547196.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种发电机组冷却系统
- 下一篇：一种含醋酸阿比特龙和递送剂的胶囊
