[发明专利]一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法有效
申请号: | 202110544264.3 | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN113252167B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 张蜡宝;戴越;谢臻达;贾琨鹏;费越;汪小涵;陈奇;李飞燕;何广龙;涂学凑;康琳;吴培亨 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | G01J1/44 | 分类号: | G01J1/44;G01J1/42;G03F1/78;G03F7/20 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 颜盈静 |
地址: | 210008 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法,包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤,光纤包括纤芯和包层;光纤嵌入在玻璃插芯内,玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内,该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上;超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯;电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧;本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面,可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器,大幅度提高了超导单光子探测器的集成度,降低了工艺制作步骤,从而扩展了应用领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 光谱 高效率 超导 光子 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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