[发明专利]振动传感器和振动传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202110537567.2 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113280907A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 徐香菊;田峻瑜;闫文明;方华斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G01H11/08 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 晏波 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种振动传感器和振动传感器的制作方法，振动传感器包括外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；电路板组件，所述电路板组件与所述外壳固定连接，并将所述开口封堵；振动组件，所述振动组件与所述电路板组件电性连接，并可振动地设于所述容纳腔内；以及背极，所述背极位于所述容纳腔内，并与所述振动组件相对设置，所述背极与所述电路板组件电性连接；在所述外壳背离容纳腔的一侧输入振动信号或压力信号时，所述振动组件振动，以使其相对背极的间距改变。本发明技术方案旨在使传感器具有防水功能的同时，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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