[发明专利]能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置在审
| 申请号： | 202110530406.0 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113740571A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 金昌奎;李艺瑟 | 申请（专利权）人： | 株式会社TSE |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国忠清南道天安*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置通过探针块的单个控制来检测受检对象基板的图案是否不合格，可包括：底部，包括桁架；基板放置部，配置在底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及探针龙门架，配置在基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定基板的电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 实现 单个 探针 自动 精密 控制 阵列 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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