[发明专利]一种金刚石的加工设备有效
申请号: | 202110524071.1 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN113265643B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 余斌;余海粟;朱轶方;陆骁莹 | 申请(专利权)人: | 杭州超然金刚石有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/52 |
代理公司: | 杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 33305 | 代理人: | 陈继算 |
地址: | 311402 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及金刚石技术领域,特别地,涉及一种金刚石的加工设备,包括气相沉积炉,以及设于气相沉积炉内的热丝机构,所述热丝机构包括承载架,以及若干设于承载架上的热丝,所述承载架包括平行设置的第一安装梁和第二安装梁,所述第一安装梁上设有若干供热丝绕过的卡夹,其中所述卡夹沿垂直于第一安装梁的长度方向滑动安装在第一安装梁上;所述第一安装梁与卡夹之间设有弹性件,通过所述弹性件使卡夹始终保持向第一安装梁外侧滑动的趋势;所述热丝机构还包括设于第一安装梁或卡夹上的检测件,当弹性件恢复初始位置时,检测件被触发,并向控制中心进行信号反馈。本发明可以在热丝被熔断时起到提醒效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 加工 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的