[发明专利]一种集成摆式石英谐振加速度计结构及其装配方法有效
申请号: | 202110522309.7 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN113433345B | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 张宇航;王建青;党建军;王文一 | 申请(专利权)人: | 西安航天精密机电研究所 |
主分类号: | G01P15/097 | 分类号: | G01P15/097 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 唐沛 |
地址: | 710100 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成摆式石英谐振加速度计结构,包括安装基座、外壳、挠性质量块、上隔离限位板、下隔离限位板、谐振电路、谐振梁以及接线柱;安装基座和外壳相互配合,构成一个安装腔室;上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板均位于所述安装腔室内,且自上而下设置;下隔离限位板的与安装基座之间安装谐振电路;挠性质量块的上下表面均开设有安装谐振梁的谐振梁安装槽;接线柱自下而上穿过安装基座,并与谐振电路接触之后再穿过下隔离限位板后分别与两个谐振梁的金丝连接。本发明的加速度计具有结构紧凑、精度高、可靠性高、密封性好等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 摆式 石英 谐振 加速度计 结构 及其 装配 方法 | ||
【主权项】:
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