[发明专利]一种集成摆式石英谐振加速度计结构及其装配方法

权利要求书

1.一种集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：包括安装基座、外壳、挠性质量块、上隔离限位板、下隔离限位板、谐振电路、谐振梁以及接线柱；

安装基座和外壳通过螺纹连接的方式相互配合，构成一个安装腔室；

上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板均位于所述安装腔室内，且自上而下设置；

上隔离限位板的侧壁上开设有至少一个上定位槽；

下隔离限位板的下端与安装基座固定连接，下隔离限位板的上表面设有一个环形凸起，环形凸起上开设有至少一个下定位槽，下隔离限位板的与安装基座之间安装谐振电路；

挠性质量块包括环形板、固定板、摆动舌、挠性臂、上定位爪以及下定位爪；

环形板上表面设置有至少一个与所述上定位槽配合的上定位爪；

环形板上表面设置有至少一个与所述下定位槽配合的下定位爪；

固定板和摆动舌均位于环形板内部，固定板上表面、摆动舌上表面、环形板的上表面保持平齐，从而形成挠性质量块的第一平面；固定板下表面、摆动舌下表面、环形板的下表面保持平齐，从而形成挠性质量块的第二平面；固定板与环形板内壁固连，摆动舌与环形板之间具有环形间隙；摆动舌通过多个挠性臂与固定板连接；

挠性质量块的第一平面、第二平面上均开设有谐振梁安装槽；

谐振梁的数量为两个，且分别粘接于第一平面、第二平面的谐振梁安装槽内；

接线柱数量为四个，四个接线柱自下而上穿过安装基座，并与谐振电路接触之后再穿过下隔离限位板后分别与两个谐振梁的金丝连接；四个接线柱与安装基座之间设有绝缘套。

2.根据权利要求1所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：还包括腹带；所述腹带同轴套设于挠性质量块外部，用于将上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板夹紧。

3.根据权利要求2所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：所述腹带上限位隔离板以及下限位隔离板均采用陶瓷材料制作。

4.根据权利要求1或2或3所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：所述安装基座内设置有环形槽，所述下隔离限位板的侧壁卡装于环形槽内，并通过粘接胶将下隔离限位板的侧壁与安装基座进行粘接固定。

5.根据权利要求4所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：所述上隔离限位板的侧壁上开设有两个上过线孔，用于将位于第一平面的谐振梁金丝引出后与两个接线柱连接；所述下隔离限位板的环形凸起上开设有两个下过线孔，用于将位于第二平面的谐振梁金丝引出后与另外两个接线柱连接。

6.根据权利要求5所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：安装基座上设有用于安装绝缘套的四个第一通孔，下隔离限位板上表面在对应四个第一通孔的位置开设有四个第二通孔。

7.根据权利要求6所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：所述安装基座与外壳均采用不锈钢1Cr18Ni9Ti；挠性质量块结构采用单晶硅，谐振梁采用Z切型石英晶体。

8.根据权利要求7所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：上隔离限位板与挠性质量块接触的区域，以及下隔离限位板与挠性质量块接触的区域均采用胶粘接固定。

9.根据权利要求8所述的集成摆式石英谐振加速度计结构，其特征在于：安装基座和外壳之间通过螺纹连接结合激光焊接的方式固定密封。

10.一种如权利要求9所述的集成摆式石英谐振加速度计结构的装配方法，其特征在于：

步骤1：将两个谐振梁通过粘接方式的安装于挠性质量块的上下两个谐振梁安装槽内；

步骤2：将下隔离限位板放置在安装基座内部，并通过胶粘的方式固定；

步骤3：将已安装谐振梁的挠性质量块安装于下隔离限位板上并将两者接触的部分涂上粘接胶，同时将位于挠性质量块第二平面内谐振梁的金丝从下过线孔穿出后与两个接线柱连接；

步骤4：将上隔离限位板安装于挠性质量块上方，并将两者接触的部分涂上粘接胶，同时将位于挠性质量块第一平面内谐振梁的金丝从上过线孔穿出后与另外两个接线柱焊接；

步骤5：将腹带套设于挠性质量块外部，从而将上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板夹紧成为一个整体；

步骤6：将外壳通过螺纹连接的方式固定与安装基座上，最后利用激光焊接方式对外壳和安装基座进行密封。