[发明专利]可调控加热功率的真空扩散泵在审

专利信息
申请号: 202110518181.7 申请日: 2021-05-12
公开(公告)号: CN113236612A 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 李重河;张学贤;冯齐胜;段宝华;杨宇辰;毛露;陈光耀;王世华;鲁雄刚 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00;F04F9/08
代理公司: 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人: 顾勇华
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种可调控加热功率的真空油扩散泵,包括扩散泵与扩散泵相连接的高功率瓷管可调绕线电阻装置,瓷管可调绕线电阻装置包括变压调节器、立式波纹绕制电阻、表面涂敷绝缘树脂漆、固定元件、接线端子;将所述瓷管可调绕线电阻装置与扩散泵加热元件相连接。本发明的目的在于提供了一种可调控功率的真空扩散泵。设计实用、新颖,增加了高功率瓷管可调绕线电阻外部装置,可实现扩散泵的快速启动,正常工作、高真空状态三档工作状态,能够根据实际情况控制加热元件的加热功率,提高真空油扩散泵的抽气效率以及极限真空度,操作简单,实用性强,利用推广。
搜索关键词: 调控 加热 功率 真空 扩散
【主权项】:
暂无信息
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