[发明专利]用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110507828.6 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN113403582A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郭岩;郭延军;许辉;黄海舟;钟永华;沈宇政;杨林;郦晓慧;房璐璐;王鲁 | 申请（专利权）人： | 华电电力科学研究院有限公司;福建华电可门发电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 杭州天欣专利事务所(普通合伙) 33209 | 代理人： | 张狄峰 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法。薄膜包括依次沉积于汽轮机叶片表面的Cr底层、TiAl过渡层、TiAlN过渡层及TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层，TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层为面心立方结构的纳米晶(Ti,Al)(C,N)和Cr |
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| 搜索关键词： | 用于 汽轮机 叶片 固体 颗粒 侵蚀 纳米 多层 硬质 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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