[发明专利]使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法有效
| 申请号： | 202110505433.2 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113399816B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | R·K·阿卡拉普;G·A·皮切;S·楚达;J·A·韦斯特 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/073;B23K26/53;B23K26/06;C03B33/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本申请涉及使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法。包括：形成包含缺陷的轮廓线，通过下述进行：引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件，非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位，将脉冲激光束引导到透明工件中，使被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收，诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸W |
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| 搜索关键词： | 使用 轴对称 透明 工件 进行 激光 加工 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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