[发明专利]应力测量结构与应力测量方法在审
| 申请号： | 202110504319.8 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN115326244A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 林郁祥;高靖尧;董恩凯 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种应力测量结构与应力测量方法，其中该应力测量结构包括基底、支撑层、材料层与多个标记。支撑层设置在基底上。材料层设置在支撑层上。在材料层中具有暴露出支撑层的沟槽。材料层包括主体与悬臂梁。沟槽位于悬臂梁与主体之间且将悬臂梁与主体部分地分离。悬臂梁的一端连接于主体。多个标记位于主体与悬臂梁上。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 测量 结构 测量方法 | ||
【主权项】：
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