[发明专利]一种光刻板板架

摘要

本发明公开了一种光刻板板架，光刻板板架，包括：框体1和至少一组支撑组件13；框体1至少包括两块相对设置的放置板，至少一组支撑组件13相对设置在放置板上，至少一组支撑组件13形成放置轨道并对放入其间的光刻板3进行支撑；框体上还设置有阻挡结构，阻挡结构用于对光刻板3进行限位；阻挡结构之间留有空隙区域，空隙区域用于流通洗液至光刻板3上，实现对光刻板3的清洗。本发明实施例通过设计与光刻板对应的框架结构，利用支撑组件实现对光刻板的支撑放置，并设计一洗液流通区域，使得洗液可以在光刻板上流通，一方面提高了光刻板的收纳效率，同时兼具了清洗功能。