[发明专利]一种三氯氢硅合成方法及系统有效
| 申请号： | 202110500760.9 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113387363B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 武珠峰;夏进京;刘兴平;吴昌勇;马金杉;潘从伟 | 申请（专利权）人： | 内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 014100 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三氯氢硅合成方法，将硅粉原料经流化进行冷氢化反应合成三氯氢硅，得到冷氢化合成反应混合气；先分离出冷氢化反应后的冷氢化合成反应混合气中的大颗粒硅粉，得到第一除尘气,并将所述大颗粒硅粉返回到流化过程中继续进行冷氢化反应；再分离出所述第一除尘气中的小颗粒硅粉，得到三氯氢硅；将所述小颗粒硅粉与氯化氢进行氯化反应生成三氯氢硅。本发明还公开一种三氯氢硅合成系统。本发明可实现硅粉高效率利用，降低硅单耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 方法 系统 | ||
【主权项】：
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