[发明专利]具有振动功能的抛光液输送装置和化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 202110499287.7 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113442067A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;孟松林;温世乾 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有振动功能的抛光液输送装置和化学机械抛光设备，其中，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液或气体；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的至少一个喷嘴；振动加载器，用于对抛光液施加振动以减少抛光垫表面的颗粒聚集。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 振动 功能 抛光 输送 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110499287.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
