[发明专利]一种Ni-Mn-Ti基多元合金靶材及其制备方法和薄膜

摘要

本发明涉及一种Ni‑Mn‑Ti基多元合金靶材及其制备方法和薄膜。首先电弧熔炼制备合金锭子，提高了合金的纯度，致密性，使多种元素得到充分的合金化；后续通过熔体快淬以一定轮速甩出薄带，降低了材料内部的孔隙率，简化了后续热处理工艺，并细化晶粒，使元素分布更趋于均匀；然后将薄带研磨成合金粉末，有效解决了单个元素熔点过低或过高导致的成分不均，在保证原有磁性下，拓宽了相变温跨；最后通过热压制备四元合金靶材。本发明集电弧熔炼与高温热压制备优点为一体，并结合熔体快淬，从而能够制备成分均匀，空隙率低，纯度高，晶粒尺寸小，相变温区跨度宽的靶材；本发明的靶材采用NiMnTi基合金，制备的薄膜具有良好的机械性能，方便后续应力调控，获得多功能薄膜。