[发明专利]一种边界智能可调的蒸发源

摘要

本发明公开了一种边界智能可调的蒸发源，主要包括蒸发舟、温度传感阵列、柔性边界驱动系统和中央智能控制模块；蒸发舟包括固定边框、柔性边框、支撑边框和底部；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多列温度传感器组成，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部。在蒸发镀膜过程中，中央智能控制模块控制柔性边界驱动系统驱动柔性边框产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移，实现蒸发区域边界的智能在线可调，使基片上沉积的膜层呈现所需的膜厚分布状态，这一分布状态可以是膜厚均匀一致的常规分布状态，也可以是膜厚渐变的某种特殊分布状态。