[发明专利]一种边界智能可调的蒸发源

权利要求书

1.一种边界智能可调的蒸发源，主要包括蒸发舟、温度传感阵列、柔性边界驱动系统和中央智能控制模块；蒸发舟包括边框和底部，边框包括固定边框、柔性边框和支撑边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部；在蒸发镀膜过程中，中央智能控制模块控制柔性边界驱动系统驱动柔性边框产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移，实现蒸发区域边界的智能在线可调，使基片上沉积的膜层呈现所需的膜厚分布状态，并在整个蒸发镀膜过程中保持该膜厚分布状态的稳定；

蒸发区域边界由柔性边框和固定边框构成；支撑边框位于蒸发区域边界以外，设置在柔性边框的外侧；柔性边界驱动系统包括多组驱动单元；多组驱动单元横向均布在蒸发舟的支撑边框上，每组驱动单元均与柔性边框的不同分段相连接；驱动单元为3组以上；在固定边框上设置有振动匀料机构，使蒸发材料在蒸发区域内均匀分布；柔性边框采用耐高温的柔性材质制成，具有良好的高温稳定性和柔韧性；所述的耐高温的柔性材质为柔性石墨类的材质；

在蒸发镀膜过程中，温度传感阵列实时获得蒸发舟底部的温度阵列信号，并将温度阵列信号传输给中央智能控制模块；柔性边界驱动系统将各分段柔性边框与驱动单元连接部位的位置信号也传输给中央智能控制模块；

中央智能控制模块内预设有膜厚的目标分布数据和蒸发材料数据库；中央智能控制模块根据温度阵列信号、各分段柔性边框的位置信号以及蒸发材料的物性参数进行数值计算模拟，获得在镀膜幅宽方向上沉积膜层的膜厚动态分布数据，并根据膜厚动态分布数据与目标分布数据之间的差异计算出各分段柔性边框的动态位置修正量；然后中央智能控制模块将基于该动态位置修正量的驱动指令发送给柔性边界驱动系统，控制各驱动单元驱动各分段柔性边框向内或向外移动，使柔性边框在整体上产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移，从而实现蒸发区域边界的智能在线可调；

在蒸发源和基片之间不设置修正挡板或屏蔽板。

2.根据权利要求1所述的边界智能可调的蒸发源，其特征在于：每组驱动单元包括1个以上的微型伺服电机和直线推杆或者1个以上的微型直线电机。

3.根据权利要求1所述的边界智能可调的蒸发源，其特征在于：温度传感器为6个以上，温度传感器排布的列数与驱动单元的组数一致，且各列的位置与各组驱动单元所处位置对应；每个温度传感器列包括2个以上的温度传感器。

4.根据权利要求1所述的边界智能可调的蒸发源，其特征在于：柔性边框与驱动单元连接的部位在驱动单元的驱动下可向内或向外移动，使柔性边框在整体上产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移；移动的精度为0.05-0.5mm。

5.根据权利要求1所述的边界智能可调的蒸发源，其特征在于：驱动单元与柔性边框的连接处设置隔热层。