[发明专利]一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用在审
| 申请号： | 202110494878.5 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN115308825A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 仇旻;石理平;耿娇;许犁野;方啸国 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周期性氧化条纹结构的制造方法，包括：在一表面加工条纹结构；利用飞秒激光照射所述表面，在飞秒激光作用下和条纹结构的诱导下，所述表面对应区域形成周期性分布的氧化物条纹；所述条纹结构的方向与入射的飞秒激光的偏振方向一致。本发明也同时公开了一种上述方法的应用。本发明中通过一个简单的“人工种子”的诱导便可得到极高准直度的氧化条纹结构。不需要任何额外的加工工艺。直接，简单，明了，可控。同时，其产生氧化条纹光栅结构所需的能量密度低于长脉冲和连续激光，远远低于表面的烧蚀阈值，可以避免烧蚀产生，因此，可实现微纳范围内大面积的亚波长微纳条纹结构的精密加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 氧化 条纹 结构 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
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