[发明专利]一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用在审
| 申请号： | 202110494878.5 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN115308825A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 仇旻;石理平;耿娇;许犁野;方啸国 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 氧化 条纹 结构 制造 方法 应用 | ||
1.一种周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，包括：在一表面加工条纹结构；利用飞秒激光照射所述表面，在飞秒激光作用下和条纹结构的诱导下，所述表面对应区域形成周期性分布的氧化物条纹；所述条纹结构的方向与入射的飞秒激光的偏振方向一致。
2.根据权利要求1所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述表面为一薄膜表面，薄膜厚度为100～500nm。
3.根据权利要求1所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述表面中含有在飞秒激光作用下能够产生氧化反应形成氧化颗粒的物质。
4.根据权利要求3所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述物质选自硅、钛、钨、氮化钛中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述氧化物条纹的周期取决于入射激光波长或/和所述表面所在结构的厚度；具有所述氧化物条纹的表面区域面积取决于激光作用区域。
6.根据权利要求1所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述条纹结构为凹槽结构、凸起结构或者两者相结合的结构。
7.根据权利要求1所述的周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，所述条纹结构为凹槽结构或凸起结构的直线条纹，所述条纹结构的宽度为0.2～1μm，深度为3～20nm。
8.一种具有周期性条纹的结构，其特征在于，由权利要求1～7任一项所述的方法制备得到。
9.根据权利要求8所述的具有周期性条纹的结构，其特征在于，所述具有周期性条纹的结构为光栅或者掩模。
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