[发明专利]基板清洁装置有效
| 申请号： | 202110494345.7 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113617721B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 裵哲敏 | 申请（专利权）人： | 艾斯宜株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;姜香丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种基板清洁装置。基板清洁装置包括旋转卡盘；基板支撑件，联接到旋转卡盘并支撑基板；主轴，被配置为使旋转卡盘旋转；上部喷嘴，设置在基板的上方并且具有被形成为面向基板的上表面的向下出口，该基板通过主轴而与旋转卡盘一起旋转；下部喷嘴主体，安装在形成在旋转卡盘和主轴中的空腔中；第一下部喷嘴，形成在下部喷嘴主体的中央区域中并且具有被形成为面向基板的下表面的第一向上出口；第二下部喷嘴，以与第一下部喷嘴间隔开的方式形成在下部喷嘴主体中，并具有被形成为面向基板的下表面的第二向上出口；第三下部喷嘴，以与第一下部喷嘴和第二下部喷嘴间隔开的方式形成在下部喷嘴主体中，并具有被形成为与旋转卡盘的上表面平行的横向出口。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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