[发明专利]用于控制有机蒸气喷射印刷的气动挡板在审
| 申请号： | 202110492088.3 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113584433A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | S·R·福里斯特;J·A·霍洛维茨 | 申请（专利权）人： | 密西根大学董事会 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 龚诗靖 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及用于控制有机蒸气喷射印刷的气动挡板。提供了用于使用安置于OVJP印刷头内、在印刷头入口与喷嘴出口之间的挡板来改进OVJP沉积的装置、系统和技术。如所公开的OVJP印刷头包括用于夹带在载气中的有机材料的入口、微喷嘴阵列出口和安置于所述入口与所述微喷嘴阵列出口之间的气体流动路径中的挡板。所述挡板允许以极短的等待时间快速切断通过所述印刷头的载气流。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 有机 蒸气 喷射 印刷 气动 挡板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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