[发明专利]用于控制有机蒸气喷射印刷的气动挡板

权利要求书

1.一种有机蒸气喷射印刷OVJP沉积装置，其包含：

OVJP印刷头，其包含：

包含至少一个入口和多个喷嘴出口的微喷嘴阵列，载气中夹带的有机材料通过所述入口进入所述微喷嘴阵列，材料通过所述喷嘴出口从所述微喷嘴阵列喷出；和

安置于所述多个喷嘴出口与所述入口之间且具有打开配置和关闭配置的挡板，其中所述挡板在所述打开配置下允许气体流入所述多个喷嘴出口，且在所述关闭配置下阻止气体流入所述多个喷嘴出口。

2.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板被安置成相比于所述至少一个入口更接近所述喷嘴出口。

3.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其进一步包含使所述挡板从所述打开配置改变为所述关闭配置的致动器。

4.根据权利要求3所述的OVJP沉积装置，其中所述致动器包含选自由以下组成的群组的机构类型：电、磁、电磁、气动和物理。

5.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板包含移动式结构，其具有第一壁、第二壁和包含孔且连接所述第一和第二壁的中间部分，其中当所述孔与所述入口对准时，所述挡板允许气体从所述入口流向所述多个喷嘴出口。

6.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其中向所述挡板施加第一电信号使得所述挡板处于所述关闭配置。

7.根据权利要求6所述的OVJP沉积装置，其中向所述挡板施加第二电信号使得所述挡板处于所述打开配置。

8.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板包含柔性桥部分。

9.根据权利要求8所述的OVJP沉积装置，其中当气体以高于阈值压力的压力流入所述OVJP印刷头中时，所述挡板被配置成处于所述打开配置。

10.根据权利要求9所述的OVJP沉积装置，其中当向所述挡板施加电信号时，所述挡板被配置成处于所述打开配置。

11.根据权利要求9所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板在处于打开位置时向所述多个喷嘴开口弯曲。

12.根据权利要求9所述的OVJP沉积装置，其中所述阈值压力为10kPa。

13.根据权利要求1所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板包含多晶硅桥。

14.根据权利要求13所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板进一步包含单晶硅衬底。

15.根据权利要求14所述的OVJP沉积装置，其中所述挡板进一步包含安置于所述多晶硅桥与所述单晶硅衬底之间的SiO₂层。