[发明专利]一种变剪切比径向剪切干涉系统在审

专利信息
申请号: 202110491763.0 申请日: 2021-05-06
公开(公告)号: CN113340440A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 蔡智骞;张军勇;杨朋千;朱健强 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01J11/00 分类号: G01J11/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种变剪切比径向剪切干涉系统,用于对波前进行测量。包括剪切干涉单元、剪切比调控单元、波前探测单元。待测信号波前首先进入由一对多焦点光子筛构成的剪切干涉单元生成放大、缩小波前,之后经过剪切比调控单元控制剪切比变化,最后通过波前探测单元成像,获取径向剪切干涉图,后续可通过算法复原原始波前。本发明所公开的变剪切比径向剪切干涉系统,针对现有的径向剪切干涉的剪切比固定、需要独立搭建剪切系统的缺点,采用多焦点光子筛组合的方法提高剪切比可选择性。具有结构简单,测量方便等优点,也可对大口径、单发次的高能激光进行测量。
搜索关键词: 一种 剪切 径向 干涉 系统
【主权项】:
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