[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

摘要

一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的第2位置移动；第2驱动部于扫描曝光中，使保持非接触地支撑于非接触固定器(32)的基板(P)的吸附垫相对于投影光学系统而相对移动。