[发明专利]一种基于量子点调控导电细丝定位的忆阻器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110483800.3 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113206195B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 孙华军;王涛;白娜;缪向水 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 许恒恒
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于微电子器件技术领域,公开了一种基于量子点调控导电细丝定位的忆阻器及其制备方法,该忆阻器自下而上包括基底、下电极层、功能层、量子点层和上电极层,其中,功能层采用的材料为HfOx,其中1.0x1.8;量子点层具有针尖状结构,这些针尖状结构呈分散的岛状分布在所述功能层的表面;上电极层用于全部覆盖或部分覆盖量子点层。本发明通过对忆阻器的结构进行改进,在HfOx功能层表面设置岛状分布的类针尖状的量子点尖峰,以引导忆阻器导电细丝的形成和断裂,实现导电通路的定位,提高忆阻器件的一致性,对高性能忆阻器的制备提供重要的理论指导和技术支撑。
搜索关键词: 一种 基于 量子 调控 导电 细丝 定位 忆阻器 及其 制备 方法
【主权项】:
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