[发明专利]一种复合薄膜的制备方法及复合薄膜在审
| 申请号： | 202110479316.3 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113193109A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘桂银;张秀全;刘阿龙;王金翠 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/312 | 分类号： | H01L41/312;H01L41/33 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供一种复合薄膜的制备方法及复合薄膜。其中，制备方法包括在原始基板的第一表面和第二表面上进行离子注入，得到晶圆注入片；晶圆注入片依次包括第一薄膜层、第一注入层、余质层、第二注入层和第二薄膜层；将第一薄膜层与第一支撑基板键合，将第二薄膜层与第二支撑基板键合，得到键合体；第二支撑基板的热膨胀系数和第一支撑基板的热膨胀系数相同；将键合体进行加热至目标温度并以目标温度保温至目标时间，以使第一薄膜层和第二薄膜层分别与余质层分离，得到第一复合薄膜和第二复合薄膜。采用上述制备方法，避免键合体发生弯曲，复合薄膜处于平坦状态，避免复合薄膜发生炸裂，提高复合薄膜的成品率，降低复合薄膜的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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