[发明专利]一种卷对卷曝光装置在审
| 申请号： | 202110478285.X | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113176716A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李波;刘栋;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种卷对卷曝光装置，用于柔性工件的双面曝光，包括：基座、第一对位系统、曝光系统、第二对位系统以及运动载台系统，运动载台系统包括运动基台、放卷单元、第一曝光平台、翻面组件、第二曝光平台和收卷单元，放卷单元用于将柔性工件第一面向上供给至第一曝光平台，经由翻面组件将柔性工件第二面向上输送至第二曝光平台，最后由收卷单元进行柔性工件的收卷。通过同步运动的第一曝光平台和第二曝光平台分别在曝光系统和对位系统处完成曝光和对位，结合翻面组件对柔性工件进行翻面，能够高效的实现柔性工件的双面曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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