[发明专利]一种卷对卷曝光装置

权利要求书

1.一种卷对卷曝光装置，用于柔性工件的双面曝光，其特征在于，

所述卷对卷曝光装置包括：基座、第一对位系统、曝光系统、第二对位系统以及运动载台系统，所述曝光系统位于所述第一对位系统和所述第二对位系统的中间位置；

所述运动载台系统包括运动基台、放卷单元、第一曝光平台、翻面组件、第二曝光平台和收卷单元，所述放卷单元用于将柔性工件第一面向上供给至所述第一曝光平台，经由所述翻面组件将柔性工件第二面向上输送至所述第二曝光平台，最后由所述收卷单元进行柔性工件的收卷；

所述基座上设有导轨，所述运动载台系统沿导轨往复移动时，所述第一曝光平台经过所述第一对位系统进行对位操作并经过所述曝光系统进行曝光操作，所述第二曝光平台经过所述第二对位系统进行对位操作并经过所述曝光系统进行曝光操作，当所述第一曝光平台在进行曝光操作时，所述第二曝光平台处于所述第二对位系统处进行对位操作。

2.根据权利要求1所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：所述第一曝光平台和第二曝光平台之间的距离根据所述曝光系统和所述第二对位系统之间的距离确定。

3.根据权利要求1所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：所述放卷单元和所述收卷单元分别从所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的同一侧进行放卷和收卷。

4.根据权利要求3所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：翻面组件由位于所述第一曝光平台和/或所述第二曝光平台下方的导辊组成。

5.根据权利要求4所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：翻面组件包括第一翻面辊、中间引导辊、第二翻面辊，所述第一翻面辊与所述中间引导辊以及所述第二翻面辊平行设置。

6.根据权利要求1所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：放卷单元和收卷单元分别从所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的不同侧进行放卷和收卷。

7.根据权利要求6所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：翻面组件由至少三个导辊组成，位于所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的中间位置。

8.根据权利要求7所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：翻面组件包括第一翻面辊、中间回转辊、第二翻面辊，在XY平面上，所述第一翻面辊和所述第二翻面辊垂直相交，分别与所述中间回转辊成45°夹角。

9.根据权利要求1所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：所述运动载台系统还包括至少一个行程调节辊，所述至少一个行程调节辊可移动地设置于所述运动基台上。

10.根据权利要求1所述的卷对卷曝光装置，其特征在于：所述运动载台系统还包括多个行程调节辊，所述柔性工件在输送路径上经过部分或全部的所述行程调节辊。

11.一种采用如权利要求1-10任一项所述的卷对卷曝光装置对柔性工件曝光的曝光方法，其特征在于，包括柔性工件的输送步骤与对位曝光步骤；

在输送步骤中，所述放卷单元供给一定长度的柔性工件，所述收卷单元收卷相应长度的柔性工件，每次的输送长度根据实际曝光区域的大小而定；

在对位曝光步骤中，所述运动载台系统先沿Y方向移动，使得所述第一曝光平台通过所述第一对位系统进行对位；所述运动载台系统继续移动，使得所述第一曝光平台处于所述曝光系统下进行第一面曝光，此时，所述第二曝光平台正通过所述第二对位系统进行对位；所述第一曝光平台曝光结束后，所述运动载台系统移动使得第二曝光平台处于所述曝光系统下进行第二面曝光；

循环以上两步，完成柔性工件的双面曝光。