[发明专利]一种卷对卷曝光装置

说明书

一种卷对卷曝光装置，用于柔性工件的双面曝光，包括：基座、第一对位系统、曝光系统、第二对位系统以及运动载台系统，运动载台系统包括运动基台、放卷单元、第一曝光平台、翻面组件、第二曝光平台和收卷单元，放卷单元用于将柔性工件第一面向上供给至第一曝光平台，经由翻面组件将柔性工件第二面向上输送至第二曝光平台，最后由收卷单元进行柔性工件的收卷。通过同步运动的第一曝光平台和第二曝光平台分别在曝光系统和对位系统处完成曝光和对位，结合翻面组件对柔性工件进行翻面，能够高效的实现柔性工件的双面曝光。

技术领域

本发明涉及曝光技术领域，具体是一种用于柔性工件的卷对卷曝光装置。

背景技术

随着电子信息技术的飞速发展，诸如手机、平板、电脑等电子数码产品的使用已处处可见。其中，柔性电路板与传统的印制电路板相比，具有体积更小、重量更轻、柔软度更高的诸多优势，因此，为了使电子数码产品更轻便，同时增加在有限空间内的器件集成度，电子数码产品中越来越多的使用柔性电路板来代替传统的印制电路板，使得柔性电路板的应用愈加广泛。其中，可双面布图的柔性电路板能更好的提高系统集成度，因此有着巨大的市场需求量。

曝光装置是柔性电路板生产过程中必须用到的一种设备，主要进行电路图形的制作，柔性电路板由于其柔软的特性，多采用卷对卷（roll to roll）形式的曝光装置。目前，市场上卷对卷曝光装置的应用也很广泛，但是大多数为传统菲林曝光，成本较高、产量较低，无法满足高产能需求；此外，能够高效、简便完成电路图形曝光的激光直写曝光设备也逐渐开始应用到卷对卷曝光领域。但这些设备在对柔性电路板进行双面曝光时，通常是如专利CN111708253A中公开的方式，即在柔性电路板的输送路径的两侧（通常是上下两侧）分别配置一对曝光镜头组以进行柔性电路板两个面的曝光，由于曝光镜头组的价格高昂，这就导致设备的成本居高不下。

发明内容

本发明的目的在于提供一种卷对卷曝光装置以解决上述现有技术中的问题。

为实现上述目标，本发明采用如下的技术方案：

一种卷对卷曝光装置，用于柔性工件的双面曝光，所述卷对卷曝光装置包括：基座、第一对位系统、曝光系统、第二对位系统以及运动载台系统，所述曝光系统位于所述第一对位系统和所述第二对位系统的中间位置；所述运动载台系统包括运动基台、放卷单元、第一曝光平台、翻面组件、第二曝光平台和收卷单元，所述放卷单元用于将柔性工件第一面向上供给至所述第一曝光平台，经由所述翻面组件将柔性工件第二面向上输送至所述第二曝光平台，最后由所述收卷单元进行柔性工件的收卷；所述基座上设有导轨，所述运动载台系统沿导轨往复移动时，所述第一曝光平台经过所述第一对位系统进行对位操作并经过所述曝光系统进行曝光操作，所述第二曝光平台经过所述第二对位系统进行对位操作并经过所述曝光系统进行曝光操作，当所述第一曝光平台在进行曝光操作时，所述第二曝光平台处于所述第二对位系统处进行对位操作。

优选地，所述第一曝光平台和第二曝光平台之间的距离根据所述曝光系统和所述第二对位系统之间的距离确定。

优选地，所述放卷单元和所述收卷单元分别从所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的同一侧进行放卷和收卷。

进一步优选地，翻面组件由位于所述第一曝光平台和/或所述第二曝光平台下方的导辊组成。

进一步优选地，翻面组件包括第一翻面辊、中间引导辊、第二翻面辊，所述第一翻面辊与所述中间引导辊以及所述第二翻面辊平行设置。

优选地，放卷单元和收卷单元分别从所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的不同侧进行放卷和收卷。

进一步优选地，翻面组件由至少三个导辊组成，位于所述第一曝光平台和所述第二曝光平台的中间位置。

进一步优选地，翻面组件包括第一翻面辊、中间回转辊、第二翻面辊，在XY平面上，所述第一翻面辊和所述第二翻面辊垂直相交，分别与所述中间回转辊成45°夹角。