[发明专利]一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法有效
申请号: | 202110472155.5 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113514666B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 张曼娜;王立峰;黄庆安;董蕾 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01P15/097 | 分类号: | G01P15/097;G01P15/125 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 沈廉 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法,其中,PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成,两个谐振器通过机械耦合结构连接;闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间,用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰,进而改变PT对称谐振器的谐振频率,通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量,同时大大提升了测量灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 pt 对称 谐振器 微机 加速度计 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
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