[发明专利]一种降低高温下大型真空室本底漏率装置有效
| 申请号： | 202110472108.0 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113252251B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 谌继明;冷桢;王平怀;段旭如;王全明;许敏;康伟山;周毅;李佳霖;范小平;陈艳宇;韦郑兴 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 董和煦 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于真空应用技术领域，具体涉及一种降低高温下大型真空室本底漏率装置。本发明中，干泵、反应炉、液氮换热器安装在箱体的内部，干泵固定安装在箱体内的底部，干泵、反应炉、液氮换热器通过管道并联连接；进气口一端伸出箱体，另一端连接在液氮换热器的管路上；出气口同时与液氮换热器的管路、反应炉的管路连接；干泵用于对除氢系统的整体管道进行排气并达到低真空；反应炉作为气体的反应容器，其内部设有吸气剂材料；液氮换热器与屏蔽块热氦检漏设备中出来的高温气体进行热交换，降低高温气体温度。本发明能有效降低高温下大型真空室本底漏率，提升整套热氦检漏测试系统的检测灵敏度，以满足更严格的检漏需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 高温 大型 真空 本底 装置 | ||
【主权项】：
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